Johan Meersschaut: шукати на сайті Z-Library

Найбільша колекція наукових статей у сіті. 70,000,000+ безкоштовних статей.

Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024

Z-Library - одна з найбільших онлайн-бібліотек у світі, в якій зберігається більше 17,000,000 книг та 84,837,000 статей. Ми намагаємось зробити літературу доступною кожному. Сьогодні (15 вересня 2024) ми відкриваємо додатковий збір пожертвувань на підтримку та розвиток проекту.

Також БЕЗЛІМТНІ завантаження (протягом 31 дня після завершення пожертвування) доступні для ВСІХ користувачів, які підтримають проект в період збору коштів до 1 жовтня 2024.

Про збір коштів Детальніше

Підтримати

Книги
Статті (51)
Найпопулярніші
Перелік
- Перелік
- Таблиця

Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Films from (ethylbenzyl) (1-ethyl-1,4-cyclohexadienyl) Ru: Process Characteristics, Surface Chemistry, and Film Properties

Popovici, Mihaela, Groven, Benjamin, Marcoen, Kristof, Phung, Quan Manh, Dutta, Shibesh, Swerts, Johan, Meersschaut, Johan, Van Den Berg, Jaap A., Franquet, Alexis, Moussa, Alain, Vanstreels, Kris, La

Журнал:

Chemistry of Materials

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.25 MB

english, 2017

Atomic layer deposition of nitrogen doped Al-phosphate coatings for Li-ion battery applications

Henderick, Lowie, Hamed, Hamid, Mattelaer, Felix, Minjauw, Matthias M., Meersschaut, Johan, Dendooven, Jolien, Safari, Mohammadhosein, Vereecken, Philippe M., Detavernier, Christophe

Журнал:

ACS Applied Materials & Interfaces

Рік:

2020

Файл:

PDF, 1.68 MB

2020

Chemical vapor deposition processes for the fabrication of epitaxial Si-O superlattices

Jayachandran, Suseendran, Delabie, Annelies, Maggen, Jens, Caymax, Matty, Loo, Roger, Meersschaut, Johan, Lenka, Haraprasanna, Vandervorst, Wilfried, Heyns, Marc

Журнал:

Thin Solid Films

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.05 MB

english, 2014

Phase Formation and Morphology of Nickel Silicide Thin Films Synthesized by Catalyzed Chemical Vapor Reaction of Nickel with Silane

Peter, Antony Premkumar, Meersschaut, Johan, Richard, Olivier, Moussa, Alain, Steenbergen, Johnny, Schaekers, Marc, Tőkei, Zsolt, Van Elshocht, Sven, Adelmann, Christoph

Журнал:

Chemistry of Materials

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.15 MB

english, 2015

Sealing of low-k dielectric (k=2.0) with self-assembled monolayers (SAMs) for the atomic layer deposition (ALD) of TiN

Sun, Yiting, Levrau, Elisabeth, Blauw, Michiel, Meersschaut, Johan, Verdonck, Patrick, Struyf, Herbert, Detavernier, Christophe, Baklanov, Mikhail, De Feyter, Steven, Armini, Silvia

Журнал:

MRS Proceedings

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 26.75 MB

english, 2013

Electrical Characterization of Ultrathin RF-Sputtered LiPON Layers for Nanoscale Batteries

Put, Brecht, Vereecken, Philippe M., Meersschaut, Johan, Sepúlveda, Alfonso, Stesmans, Andre

Журнал:

ACS Applied Materials & Interfaces

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.41 MB

english, 2016

Suppression of boron incorporation at the early growth phases of boron-doped diamond thin films

Tsigkourakos, Menelaos, Hantschel, Thomas, Xu, Zheng, Douhard, Bastien, Meersschaut, Johan, Zou, Yiming, Larsson, Karin, Boman, Mats, Vandervorst, Wilfried

Журнал:

physica status solidi (a)

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 310 KB

english, 2015

High sensitivity Rutherford backscattering spectrometry using multidetector digital pulse processing

Laricchiuta, Grazia, Vandervorst, Wilfried, Zyulkov, Ivan, Armini, Silvia, Meersschaut, Johan

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.08 MB

english, 2018

Nanoscale etching of III-V semiconductors in acidic hydrogen peroxide solution: GaAs and InP, a striking contrast in surface chemistry

van Dorp, Dennis H., Arnauts, Sophia, Laitinen, Mikko, Sajavaara, Timo, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Kelly, John J.

Журнал:

Applied Surface Science

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.23 MB

english, 2019

Influence of Composition of SiCN Film for Surface Activated Bonding

Inoue, Fumihiro, Peng, Lan, Iacovo, Serena, Phommahaxay, Alain, Visker, Jakob, Verdonck, Patrick, Meersschaut, Johan, Dara, Praveen, Sleeckx, Erik, Miller, Andy, Beyne, Eric

Журнал:

ECS Transactions

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 883 KB

english, 2018

Influence of Composition of SiCN as Interfacial Layer on Plasma Activated Direct Bonding

Inoue, Fumihiro, Peng, Lan, Iacovo, Serena, Phommahaxay, Alain, Verdonck, Patrick, Meersschaut, Johan, Dara, Praveen, Sleeckx, Erik, Miller, Andy, Beyer, Gerald, Beyne, Eric

Журнал:

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 909 KB

english, 2019

NiO Thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition using Ni(dmamb)2 and Ozone as Precursors

Peter Antony Premkumar, Michael Toeller, Christoph Adelmann, Johan Meersschaut, Alexis Franquet, Olivier Richard, Hilde Tielens, Bert Brijs, Alain Moussa, Thierry Conard, Hugo Bender, Marc Schaekers,

Журнал:

Chemical Vapor Deposition

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 966 KB

english, 2012

Flow velocity profiles in the Lower Scheldt estuary

Johan Christian Winterwerp, Zheng Bing Wang, Theo van der Kaaij, Kristof Verelst, Arnout Bijlsma, Youri Meersschaut, Marc Sas

Журнал:

Ocean Dynamics

Рік:

2006

Мова:

english

Файл:

PDF, 481 KB

english, 2006

Congenital bilateral plexiform neurofibromas of the cavernous sinuses

Valerie A. Meersschaut, Johan M. Kros, Corinne E. Catsman-Berrevoets, Maarten H. Lequin

Журнал:

Pediatric Radiology

Рік:

2003

Мова:

english

Файл:

PDF, 337 KB

english, 2003

Selective chemical vapor synthesis of Cu3Ge: Process optimization and film properties

Antony Premkumar Peter, Laureen Carbonell, Marc Schaekers, Christoph Adelmann, Johan Meersschaut, Alexis Franquet, Olivier Richard, Hugo Bender, Tokei Zsolt, Sven van Elshocht

Журнал:

Intermetallics

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.55 MB

english, 2013

Nickel silicide contacts formed by excimer laser annealing for high efficiency solar cells

Tous, Loic, Lerat, Jean-Francois, Emeraud, Thierry, Negru, Razvan, Huet, Karim, Uruena, Angel, Aleman, Monica, Meersschaut, Johan, Bender, Hugo, Russell, Richard, John, Joachim, Poortmans, Jef, Merten

Журнал:

Progress in Photovoltaics: Research and Applications

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 965 KB

english, 2013

Ultrathin NiGe Films Prepared via Catalytic Solid–Vapor Reaction of Ni with GeH 4

Peter, Antony P., Opsomer, Karl, Adelmann, Christoph, Schaekers, Marc, Meersschaut, Johan, Richard, Olivier, Vaesen, Inge, Moussa, Alain, Franquet, Alexis, Zsolt, Tokei, Van Elshocht, Sven

Журнал:

ACS Applied Materials & Interfaces

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.26 MB

english, 2013

Pore sealing of k 2.0 dielectrics assisted by self-assembled monolayers deposited from vapor phase

Armini, Silvia, Prado, Jana Loyo, Krishtab, Mikhail, Swerts, Johan, Verdonck, Patrick, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Blauw, Michiel, Struyf, Herbert, Baklanov, Mikhail R.

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 807 KB

english, 2014

Atomic Layer Deposition of TiO 2 on Surface Modified Nanoporous Low- k Films

Levrau, Elisabeth, Devloo-Casier, Kilian, Dendooven, Jolien, Ludwig, Karl F., Verdonck, Patrick, Meersschaut, Johan, Baklanov, Mikhail. R., Detavernier, Christophe

Журнал:

Langmuir

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 942 KB

english, 2013

Influence of carbon content on the copper-telluride phase formation and on the resistive switching behavior of carbon alloyed Cu-Te conductive bridge random access memory cells

Devulder, Wouter, Opsomer, Karl, Franquet, Alexis, Meersschaut, Johan, Belmonte, Attilio, Muller, Robert, De Schutter, Bob, Van Elshocht, Sven, Jurczak, Malgorzata, Goux, Ludovic, Detavernier, Christo

Журнал:

Journal of Applied Physics

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.66 MB

english, 2014

ECS Transactions [ECS 220th ECS Meeting - Boston, MA (October 9 - October 14, 2011)] - ALD Barrier Deposition on Porous Low-k Dielectric Materials for Interconnects

Van Elshocht, Sven, Delabie, Annelies, Dewilde, Sven, Meersschaut, Johan, Swerts, Johan, Tielens, Hilde, Verdonck, Patrick, Witters, Thomas, Vancoille, Eric

Рік:

2011

Мова:

english

Файл:

PDF, 78 KB

english, 2011

Growth evolution and characterization of ultra-thin CoGe2 films synthesized via a catalytic solid–vapour reaction technique

Peter, Antony Premkumar, Opsomer, Karl, Adelmann, Christoph, van Ammel, Annemie, Meersschaut, Johan, Moussa, Alain, Schaekers, Marc, Wen, Liang Gong, Zsolt, Tokei, Van Elshocht, Sven

Журнал:

Journal of Materials Chemistry C

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.30 MB

english, 2014

[IEEE 2010 IEEE International Memory Workshop - Seoul, Korea (South) (2010.05.16-2010.05.19)] 2010 IEEE International Memory Workshop - Exploration of rare earth materials for future interpoly dielectric replacement in Flash memory devices

Wellekens, Dirk, Van Elshocht, Sven, Adelmann, Christoph, Meersschaut, Johan, Swerts, Johan, Kittl, Jorge, Cacciato, Antonio, Debusschere, Ingrid, Jurczak, Malgorzata, Van Houdt, Jan

Рік:

2010

Мова:

english

Файл:

PDF, 520 KB

english, 2010

[IEEE 2012 IEEE 38th Photovoltaic Specialists Conference (PVSC) - Austin, TX, USA (2012.06.3-2012.06.8)] 2012 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference - A study of blister formation in ALD Al2O3 grown on silicon

Vermang, Bart, Goverde, Hans, Simons, Veerle, De Wolf, Ingrid, Meersschaut, Johan, Tanaka, Shuji, John, Joachim, Poortmans, Jef, Mertens, Robert

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.37 MB

english, 2012

Deposition of O atomic layers on Si(100) substrates for epitaxial Si-O superlattices: investigation of the surface chemistry

Jayachandran, Suseendran, Delabie, Annelies, Billen, Arne, Dekkers, Harold, Douhard, Bastien, Conard, Thierry, Meersschaut, Johan, Caymax, Matty, Vandervorst, Wilfried, Heyns, Marc

Журнал:

Applied Surface Science

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.74 MB

english, 2015

studied with nuclear resonant scattering

Kmiec, Daniel, Sepiol, Bogdan, Sladecek, Marcel, Rennhofer, Marcus, Stankov, Svetoslav, Vogl, Gero, Laenens, Bart, Meersschaut, Johan, Ślęzak, Tomasz, Zając, Marcin

Журнал:

Physical Review B

Рік:

2007

Мова:

english

Файл:

PDF, 309 KB

english, 2007

Metal-Insulator Transition in ALD VO 2 Ultrathin Films and Nanoparticles: Morphological Control

Peter, Antony P., Martens, Koen, Rampelberg, Geert, Toeller, Michael, Ablett, James M., Meersschaut, Johan, Cuypers, Daniel, Franquet, Alexis, Detavernier, Christophe, Rueff, Jean-Pascal, Schaekers, M

Журнал:

Advanced Functional Materials

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.54 MB

english, 2015

Stuffing-enabled surface confinement of silanes used as sealing agents on CF4 plasma-exposed 2.0 p-OSG films

Sun, Yiting, Levrau, Elisabeth, Zhang, Liping, Geypen, Jef, Meersschaut, Johan, Franquet, Alexis, Le, Quoc Toan, de Marneffe, Jean-François, Bender, Hugo, Struyf, Herbert, Detavernier, Christophe, Bak

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.55 MB

english, 2015

Combinatorial Study of Ag–Te Thin Films and Their Application as Cation Supply Layer in CBRAM Cells

Devulder, Wouter, Opsomer, Karl, Meersschaut, Johan, Deduytsche, Davy, Jurczak, Malgorzata, Goux, Ludovic, Detavernier, Christophe

Журнал:

ACS Combinatorial Science

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 4.35 MB

english, 2015

[IEEE 2015 IEEE International Memory Workshop (IMW) - Monterey, CA, USA (2015.5.17-2015.5.20)] 2015 IEEE International Memory Workshop (IMW) - Thin-Silicon Injector (TSI): An All-Silicon Engineered Barrier, Highly Nonlinear Selector for High Density Resistive RAM Applications

Govoreanu, Bogdan, Zhang, Leqi, Crotti, Davide, Fan, Yang-Shun, Paraschiv, Vasile, Hody, Hubert, Witters, Thomas, Meersschaut, Johan, Clima, Sergiu, Adelmann, Christoph, Jurczak, Malgorzata

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 372 KB

english, 2015

Study of Chemical Vapor Deposition of Manganese on Porous SiCOH Low-k Dielectrics Using Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese

Jourdan, Nicolas, Krishtab, Mikhail B., Baklanov, Mikhail R., Meersschaut, Johan, Wilson, Christopher J., Ablett, James M., Fonda, Emiliano, Zhao, Larry, Van Elshocht, Sven, Tökei, Zsolt, Vancoille,

Журнал:

Electrochemical and Solid-State Letters

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 200 KB

english, 2012

Multilayer MoS 2 Growth by Metal and Metal Oxide Sulfurization

Heyne, Markus Hartmut, Chiappe, Daniele, Meersschaut, Johan, nuytten, thomas, Conard, Thierry, bender, hugo, Huyghebaert, Cedric, Radu, Iuliana P., Caymax, M., de Marneffe, Jean-Francois, Neyts, Erik

Журнал:

Journal of Materials Chemistry C

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.12 MB

english, 2016

Study of amorphous Cu–Te–Si thin films showing high thermal stability for application as a cation supply layer in conductive bridge random access memory devices

Devulder, Wouter, Opsomer, Karl, Minjauw, Matthias M., Meersschaut, Johan, Jurczak, Malgorzata, Goux, Ludovic, Detavernier, Christophe

Журнал:

RSC Advances

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.59 MB

english, 2016

Growth mechanisms for Si epitaxy on O atomic layers: Impact of O-content and surface structure

Jayachandran, Suseendran, Billen, Arne, Douhard, Bastien, Conard, Thierry, Meersschaut, Johan, Moussa, Alain, Caymax, Matty, Bender, Hugo, Vandervorst, Wilfried, Heyns, Marc, Delabie, Annelies

Журнал:

Applied Surface Science

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.11 MB

english, 2016

Material selection for hybrid floating gate NAND memory applications

Lisoni, Judit G., Breuil, Laurent, Blomme, Pieter, Meersschaut, Johan, Bergmaier, Andreas, Dollinger, Günther, Van den bosch, Geert, Van Houdt, Jan

Журнал:

physica status solidi (a)

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 929 KB

english, 2016

Optimization and upscaling of spin coating with organosilane monolayers for low-k pore sealing

Sun, Yiting, Negreira, Ainhoa Romo, Meersschaut, Johan, Hoflijk, Ilse, Vaesen, Inge, Conard, Thierry, Struyf, Herbert, Tokei, Zsolt, Boemmels, Juergen, Moinpour, Mansour, De Feyter, Steven, Armini, Si

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 467 KB

english, 2017

Diffraction studies for stoichiometry effects in BaTiO 3 grown by molecular beam epitaxy on Ge(001)

Hsu, Min-Hsiang Mark, Merckling, Clement, El Kazzi, Salim, Pantouvaki, Marianna, Richard, Oliver, Bender, Hugo, Meersschaut, Johan, Van Campenhout, Joris, Absil, Philippe, Van Thourhout, Dries

Журнал:

Journal of Applied Physics

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 4.41 MB

english, 2016

Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Two-Dimensional WS 2 from WF 6 , H 2 Plasma, and H 2 S

Groven, Benjamin, Heyne, Markus, Nalin Mehta, Ankit, Bender, Hugo, Nuytten, Thomas, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Verdonck, Patrick, Van Elshocht, Sven, Vandervorst, Wilfried, De Gendt, Stefan,

Журнал:

Chemistry of Materials

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 4.87 MB

english, 2017

Controlled orientation of molecular-beam-epitaxial BaTiO 3 on Si(001) using thickness engineering of BaTiO 3 and SrTiO 3 buffer layers

Hsu, Min-Hsiang Mark, Van Thourhout, Dries, Pantouvaki, Marianna, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Richard, Olivier, Bender, Hugo, Favia, Paola, Vila, Maria, Cid, Rosalia, Rubio-Zuazo, Juan, Castr

Журнал:

Applied Physics Express

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 860 KB

english, 2017

MoS 2 Functionalization with a Sub-nm Thin SiO 2 Layer for Atomic Layer Deposition of High-κ Dielectrics

Zhang, Haodong, Arutchelvan, Goutham, Meersschaut, Johan, Gaur, Abhinav, Conard, Thierry, Bender, Hugo, Lin, Dennis, Asselberghs, Inge, Heyns, Marc, Radu, Iuliana, Vandervorst, Wilfried, Delabie, Anne

Журнал:

Chemistry of Materials

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.47 MB

english, 2017

Nucleation mechanism during WS 2 plasma enhanced atomic layer deposition on amorphous Al 2 O 3 and sapphire substrates

Groven, Benjamin, Mehta, Ankit Nalin, Bender, Hugo, Smets, Quentin, Meersschaut, Johan, Franquet, Alexis, Conard, Thierry, Nuytten, Thomas, Verdonck, Patrick, Vandervorst, Wilfried, Heyns, Marc, Radu,

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.66 MB

english, 2018

Interface charge trapping induced flatband voltage shift during plasma-enhanced atomic layer deposition in through silicon via

Li, Yunlong, Suhard, Samuel, Van Huylenbroeck, Stefaan, Meersschaut, Johan, Van Besien, Els, Stucchi, Michele, Croes, Kristof, Beyer, Gerald, Beyne, Eric

Журнал:

Journal of Applied Physics

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.96 MB

english, 2017

The Conversion Mechanism of Amorphous Silicon to Stoichiometric WS 2

Heyne, Markus Hartmut, de Marneffe, Jean-Francois, nuytten, thomas, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Caymax, M., Radu, Iuliana P., Delabie, Annelies, Neyts, Erik C., De Gendt, Stefan

Журнал:

Journal of Materials Chemistry C

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.19 MB

english, 2018

Hall effect measurement for precise sheet resistance and thickness evaluation of Ruthenium thin films using non-equidistant four-point probes

Østerberg, Frederik Westergaard, Witthøft, Maria-Louise, Dutta, Shibesh, Meersschaut, Johan, Adelmann, Christoph, Nielsen, Peter Folmer, Hansen, Ole, Petersen, Dirch Hjorth

Журнал:

AIP Advances

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 692 KB

english, 2018

Nanoscale Etching of GaAs and InP in Acidic H2O2 Solution: A Striking Contrast in Kinetics and Surface Chemistry

van Dorp, Dennis H., Arnauts, Sophia, Laitinen, Mikko, Sajavaara, Timo, Meersschaut, Johan, Conard, Thierry, Holsteyns, Frank, Kelly, John

Журнал:

Solid State Phenomena

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 703 KB

english, 2018

Two-Dimensional Crystal Grain Size Tuning in WS 2 Atomic Layer Deposition: an Insight in the Nucleation Mechanism

Groven, Benjamin, Nalin Mehta, Ankit, Bender, Hugo, Meersschaut, Johan, Nuytten, Thomas, Verdonck, Patrick, Conard, Thierry, Smets, Quentin, Schram, Tom, Schoenaers, Ben, Stesmans, Andre, Afanasiev, V

Журнал:

Chemistry of Materials

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.19 MB

english, 2018

Thermodynamic modelling of InAs/InP(001) growth towards quantum dots formation by metalorganic vapor phase epitaxy

Hasan, Samiul, Merckling, Clement, Pantouvaki, Marianna, Meersschaut, Johan, Van Campenhout, Joris, Vandervorst, Wilfried

Журнал:

Journal of Crystal Growth

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.00 MB

english, 2018

Peculiar Alignment and Strain of 2D WSe2 Grown by van der Waals Epitaxy on Reconstructed Sapphire Surfaces

Mortelmans, Wouter, El Kazzi, Salim, Nalin Mehta, Ankit, Vanhaeren, Danielle, Conard, Thierry, Meersschaut, Johan, Nuytten, Thomas, Degendt, Stefan, Heyns, Marc M, Merckling, Clement

Журнал:

Nanotechnology

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 883 KB

english, 2019

Low Temperature Selective Growth of Heavily Boron‐Doped Germanium Source / Drain Layers for Advanced pMOS Devices

Porret, Clement, Vohra, Anurag, Nakazaki, Nobuya, Hikavyy, Andriy, Douhard, Bastien, Meersschaut, Johan, Bogdanowicz, Janusz, Rosseel, Erik, Pourtois, Geoffrey, Langer, Robert, Loo, Roger

Журнал:

physica status solidi (a)

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 468 KB

english, 2019

Low Temperature Selective Growth of Heavily Boron‐Doped Germanium Source / Drain Layers for Advanced pMOS Devices

Porret, Clement, Vohra, Anurag, Nakazaki, Nobuya, Hikavyy, Andriy, Douhard, Bastien, Meersschaut, Johan, Bogdanowicz, Janusz, Rosseel, Erik, Pourtois, Geoffrey, Langer, Robert, Loo, Roger

Журнал:

physica status solidi (a)

Рік:

2019

Файл:

PDF, 468 KB

2019